CMTX produit pour la première fois des anneaux de fond en silicium monocrystal
Corée · The Elec · il y a 5 h
La société sud-coréenne CMTX a annoncé qu'elle est la première entreprise à produire des anneaux de fond (ground rings) en silicium monocrystallin pour les équipements d'érosion plasma dans l'industrie semi-conductrice. Ces anneaux, essentiels pour stabiliser les conditions électriques pendant le processus et améliorer la qualité du silicium, sont traditionnellement réalisés en polycristal. CMTX a réussi à produire des pièces monocrystallines de 590 mm de diamètre. Cette innovation devrait permettre une meilleure régulation de l'érosion par plasma et un rendement accru des wafers, tout en réduisant la production de particules indésirables. L'entreprise prévoit d'étendre cette technologie à d'autres composants grands formats.
À retenir
→ CMTX inaugure une nouvelle ère pour les pièces de machine-outil dans l'industrie semi-conductrice en introduisant des anneaux monocrystallins, potentiellement révolutionnant la qualité et le rendement des processus d'érosion plasma.
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