FST ajoute un équipement Canatu pour accélérer la production de membranes EUV en nanotube de carbone

L'équipementier sud-coréen FST (FST) a passé une commande supplémentaire auprès du finlandais Canatu pour un réacteur CNT100 SEMI, destiné à renforcer la production de membranes en nanotubes de carbone (CNT) pour les pellicules EUV. Cette commande, consécutive à une première livraison en septembre 2024 et à des essais réussis validés en juillet, porte le montant total du contrat (pièces long délai et réacteur) à plus de 5 millions d'euros (environ 80 milliards de wons), hors redevances et consommables futurs. Le réacteur sera livré en 2027. FST développe des pellicules EUV à base de CNT pour une évaluation chez Samsung Electronics, dans l'espoir de remplacer les pellicules en silicium actuelles, qui peinent à supporter les hautes puissances des procédés EUV et High-NA. Actuellement, aucun produit commercial n'utilise de membranes CNT ; des concurrents comme Mitsui Chemical (avec imec) et S&S Tech (avec AUSSOM) sont également dans la course, tandis que FST collabore avec le coréen Jeio pour les matériaux de membrane. L'objectif est de commercialiser ces pellicules d'ici 2027-, alors que la demande pour des protections résistantes aux fortes puissances (600 W et plus) s'accélère dans la lithographie EUV. Cette expansion de capacité de FST vise à sécuriser une place sur un marché encore inexistant mais stratégique pour les futurs nœuds avancés.